即墨精密研磨、昊炬机械(推荐商家)、精密研磨工具
1959年，Richard P Feynman(1965年诺贝尔物理奖获得者)就提出了微型机械的设想。1962年一个硅微型压力传感器问世，其后开发出尺寸为50～500μm的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微机械。1965年，斯坦福大学研制出硅脑电极探针，后来又在扫描隧道显微镜、微型传感器方面取得成功。1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60～12μm的利用硅微型静电机，即墨精密研磨，显示出利用硅微加工工艺制造小可动结构并与集成电路兼容以制造微小系统的潜力。
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由于加工技术水平的发展，哪里有精密研磨，超精密加工划分的界限逐渐向前推移，精密研磨加工，但在具体数值上没有固定的界定
超精密加工的影响因素很多，精密研磨工具，只有广泛研究和综合采用各种新技术，并在各方面精益求精，才能突破目前常规加工技术不能达到的精度界限。实现超精密切削加工的条件主要包括超精密加工机床、超精密切削刀具、超精密加工环境、超精密加工的工件材质、超精密加工用夹具和超精密测控技术等多项技术。超精密加工技术实际上就是这些技术的综合应用。现代科学技术的发展以试验为基础，所需试验仪器和设备几乎无一不需要超精密加工技术的支撑。
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